DB-FIB 双束聚焦离子束显微镜

DB-FIB 双束聚焦离子束显微镜

DB-FIB双束聚焦离子束显微镜结合SEM实时监控,实现精准制样与三维重构,广泛用于失效分析。

服务内容/范围及检测项目

a. TEM薄片样品切片

双束聚焦离子束显微镜 (DB-FIB) 是制备透射电子显微镜(TEM)超薄样品的核心设备。深圳汇测针对该应用场景,可提供以下检测项目:

检测项目报价单位样品类型
硅(Si)基样品XS(截面)制样颗(ea)14nm及以下先进制程芯片;28nm、40nm、55nm及以上制程芯片
硅(Si)基样品PV (平面) 制样颗(ea)14nm及以下先进制程芯片;28nm、40nm、55nm及以上制程芯片
非硅基样品XS(截面)制样小时(h)砷化镓 (GaAs)、氮化镓 (GaN)、碳化硅 (SiC)等非硅基样品
非硅基样品PV (平面) 制样小时(h)砷化镓 (GaAs)、氮化镓 (GaN)、碳化硅 (SiC)等非硅基样品
特殊制样小时(h)锂电材料、石墨烯电极材料等各类新型材料样品

b. FA热点截面分析

检测项目报价单位样品类型
FA热点截面分析(含OBIRCH等方法抓取热点,提供一站式检测服务)小时(h)Wafer、IC、元器件、MEMS、激光器等半导体类样品

c. 常规截面加工

检测项目报价单位样品类型
定点截面加工小时(h)Wafer、IC、元器件、PCB、MEMS、激光器等半导体类样品;其它非半导体样品
非定点截面加工小时(h)Wafer、IC、元器件、PCB、MEMS、激光器等半导体类样品;其它非半导体样品

测试周期

常规测试周期为3个自然日;针对特殊需求,可提供48h、24h、12h不同响应时效的定制化报价。

常见问题

检测样品要求:

1. 样品无水,不得含有液体成分;

2. 样品需在离子束辐照下稳定(部分有机物样品无法检测);

3. 尺寸要求:长宽高一般不超过10cm×10cm×5cm。

核心优势

1. 专业团队:技术成员具备先进制程晶圆制造相关经验,以客户为中心提供准确、及时、周到的检测服务;

2. 全流程能力:拥有健全的管理机制与完善的全流程检测分析能力,可提供专案/整案的高时效权威分析;

3. 场景全覆盖:覆盖硅基/非硅基芯片、新型材料、半导体器件等全品类样品制样与分析需求;

4. 一站式服务:FA热点分析可覆盖“热点抓取+截面分析”全流程,无需客户多平台对接。

免费获取半导体检测方案

注意:每日仅限20个名额

今日已申请 8人
张先生 138****5889 刚刚获取
李女士 159****5393 3分钟前获取
王经理 186****9012 7分钟前获取
赵总 135****7688 12分钟前获取
刘先生 139****7889 18分钟前获取
陈女士 158****1887 25分钟前获取
杨经理 187****6696 30分钟前获取
周总 136****0539 35分钟前获取
今日还剩 12个名额
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