服务内容/范围及检测项目
a. TEM薄片样品切片
双束聚焦离子束显微镜 (DB-FIB) 是制备透射电子显微镜(TEM)超薄样品的核心设备。深圳汇测针对该应用场景,可提供以下检测项目:
| 检测项目 | 报价单位 | 样品类型 |
| 硅(Si)基样品XS(截面)制样 | 颗(ea) | 14nm及以下先进制程芯片;28nm、40nm、55nm及以上制程芯片 |
| 硅(Si)基样品PV (平面) 制样 | 颗(ea) | 14nm及以下先进制程芯片;28nm、40nm、55nm及以上制程芯片 |
| 非硅基样品XS(截面)制样 | 小时(h) | 砷化镓 (GaAs)、氮化镓 (GaN)、碳化硅 (SiC)等非硅基样品 |
| 非硅基样品PV (平面) 制样 | 小时(h) | 砷化镓 (GaAs)、氮化镓 (GaN)、碳化硅 (SiC)等非硅基样品 |
| 特殊制样 | 小时(h) | 锂电材料、石墨烯电极材料等各类新型材料样品 |
b. FA热点截面分析
| 检测项目 | 报价单位 | 样品类型 |
| FA热点截面分析(含OBIRCH等方法抓取热点,提供一站式检测服务) | 小时(h) | Wafer、IC、元器件、MEMS、激光器等半导体类样品 |
c. 常规截面加工
| 检测项目 | 报价单位 | 样品类型 |
| 定点截面加工 | 小时(h) | Wafer、IC、元器件、PCB、MEMS、激光器等半导体类样品;其它非半导体样品 |
| 非定点截面加工 | 小时(h) | Wafer、IC、元器件、PCB、MEMS、激光器等半导体类样品;其它非半导体样品 |
测试周期
常规测试周期为3个自然日;针对特殊需求,可提供48h、24h、12h不同响应时效的定制化报价。
常见问题
检测样品要求:
1. 样品无水,不得含有液体成分;
2. 样品需在离子束辐照下稳定(部分有机物样品无法检测);
3. 尺寸要求:长宽高一般不超过10cm×10cm×5cm。
核心优势
1. 专业团队:技术成员具备先进制程晶圆制造相关经验,以客户为中心提供准确、及时、周到的检测服务;
2. 全流程能力:拥有健全的管理机制与完善的全流程检测分析能力,可提供专案/整案的高时效权威分析;
3. 场景全覆盖:覆盖硅基/非硅基芯片、新型材料、半导体器件等全品类样品制样与分析需求;
4. 一站式服务:FA热点分析可覆盖“热点抓取+截面分析”全流程,无需客户多平台对接。


