FIB与TEM在集成电路失效分析中的应用案例

探索FIB与TEM在集成电路失效分析中的实际案例，包括金属短路和栅极击穿诊断。了解技术原理、应用步骤及优化策略，适用于半导体工程师和可靠性专家。

2026-01-04 技术分享